Der AeroBar MP 5635 von Simco ist ein hochentwickelter Ionisierstab mit einer aktiven Länge von 1050 mm, speziell konzipiert für den Einsatz in extrem sauberen Umgebungen wie der Halbleiterfertigung. Dieses Gerät erfüllt die Reinheitsstandards der ISO 14644 Klasse 1 und bietet eine präzise Kontrolle statischer Aufladungen. Durch die modulierte Pulstechnologie (MP) kombiniert er hochfrequente Sinuswellen mit Pulsmodulation, um eine effektive Ionisierung und hervorragende laterale Gleichmäßigkeit zu gewährleisten.
Die Emitterspitzen aus hochreinem Silizium, mit einem Abstand von 75 mm, unterstützen empfindliche Prozesse ohne die Leistung zu beeinträchtigen. Zusätzlich ermöglicht die benutzerfreundliche Software eine Feinabstimmung der Steuerparameter direkt am Gerät. Der AeroBar MP 5635 kann bis zu 150 mm von sensiblen Komponenten montiert werden und unterstützt Luftunterstützung für eine verbesserte Ionenverteilung.
Die Installation ist einfach und erfordert nur eine 24 V DC-Spannungsquelle. Ein Alarmausgang in der Anschlussbox bietet die Möglichkeit, das Gerät mit Maschinensteuerungen oder Monitoring-PCs zu verbinden. Dieser Ionisierstab ist kompatibel mit allen Wafer-Technologie-Knoten inklusive 22 nm und darunter, was ihn zu einer idealen Wahl für fortschrittliche Elektronik- und Nanotechnologie-Anwendungen macht.
Details
- Breite [mm]
- 34 mm
- Höhe [mm]
Höhe [mm]
- 78 mm
- Länge [mm]
Länge [mm]
- 1150 mm
- Aktive Länge
Aktive Länge
- 1050 mm
- Arbeitsspannung
Arbeitsspannung
- 24 V/DC
- Emitter
Emitter
- 15
- Emitterabstand
Emitterabstand
- 75 mm
- Ionenbalance +/-
Ionenbalance +/-
- 20 V
- ISO-Klasse nach 14644-1
ISO-Klasse nach 14644-1
- 1
- Umgebungstemperatur
Umgebungstemperatur
- 15 - 35 °C
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