Der AeroBar MP 5635 Ionisierstab von Simco, mit einer aktiven Länge von 500 mm, ist speziell für den Einsatz in extrem sauberen Umgebungen wie der Halbleiterfertigung konzipiert. Dieses Gerät nutzt die fortschrittliche modulierte Pulstechnologie zur Erzeugung hochfrequenter Sinuswellen mit Pulsmodulation, was eine effektive und gleichmäßige Ionisierung über die gesamte Länge ermöglicht. Der Stab ist ideal für Anwendungen, bei denen niedrige Feldspannungen und minimale Kontamination kritisch sind, einschließlich der Montage von fortschrittlicher Elektronik und Nanotechnologie.
Mit einer Breite von 34 mm, einer Höhe von 78 mm und einer Gesamtlänge von 600 mm, bietet der Ionisierstab eine herausragende Näherungsfähigkeit von bis zu 150 mm Abstand zu empfindlichen Komponenten. Der AeroBar MP 5635 erfüllt die strengen Reinheitsstandards der ISO 14644 Klasse 1 und verfügt über hochreine Silizium-Emitterspitzen, die in einem 50 mm Raster angeordnet sind. Diese Emitterspitzen sind austauschbar und gewährleisten Kompatibilität mit empfindlichen Prozessen.
Zur optimalen Anpassung der Ionenbalance, die +/- 20 V beträgt, können Anwender entweder manuell am Gerät oder über eine benutzerfreundliche Software die Steuerparameter feinjustieren. Zusätzlich unterstützt der Stab eine Luftunterstützung für verbesserte Ionenverteilung und verfügt über einen automatischen Abgleich zur präzisen statischen Neutralisierung. Alarmmeldungen informieren über den Betriebsstatus, und die Installation erfolgt einfach durch Anschluss an eine 24 V DC Spannungsquelle.
Der AeroBar MP 5635 ist kompatibel mit allen Wafer-Technologie-Knoten bis hinunter zu 22 nm und bietet eine robuste Lösung für anspruchsvolle industrielle Anwendungen.
Details
- Breite [mm]
- 34 mm
- Höhe [mm]
Höhe [mm]
- 78 mm
- Länge [mm]
Länge [mm]
- 600 mm
- Aktive Länge
Aktive Länge
- 500
- Arbeitsspannung
Arbeitsspannung
- 24 V/DC
- Emitter
Emitter
- 11
- Emitterabstand
Emitterabstand
- 50 mm
- Ionenbalance +/-
Ionenbalance +/-
- 20 V
- ISO-Klasse nach 14644-1
ISO-Klasse nach 14644-1
- 1
- Umgebungstemperatur
Umgebungstemperatur
- 15 - 35 °C
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